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石墨舟

1. 參數(shù)： - 尺寸：石墨舟的尺寸根據(jù)具體應用場景和需求而定，常見的長度在幾十厘米到數(shù)米不等，寬度和高度一般也在幾厘米到幾十厘米的范圍。例如在光伏行業(yè)中，用于承載硅片的石墨舟會根據(jù)硅片的尺寸和生產(chǎn)設備的要求進行設計，可能長度在 1 米左右，寬度和高度在 20 - 30 厘米左右。 - 密度：一般在 1.6 - 2.2 克/立方厘米左右，密度的大小會影響石墨舟的重量和強度等性能。 - 電阻率：通常較低，這使得石墨舟具有良好的導電性能，一般在 (8 - 13)×10?? Ω?m 之間，能夠滿足在一些需要導電的工藝中的使用要求。 - 熱膨脹系數(shù)：相對較小，與硅片的熱膨脹系數(shù)相近，這一點對于在高溫環(huán)境下使用非常重要，可以避免因熱膨脹差異導致的結(jié)構(gòu)變形或?qū)λ休d的材料造成損傷。 - 固定碳含量：較高的固定碳含量能保證石墨舟的純度和性能，一般固定碳含量在 99%以上。 - 耐溫性能：具有優(yōu)異的耐高溫性能，最高可在 2000℃以上的高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作，能夠滿足大多數(shù)高溫工藝的需求。

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1. 參數(shù)：
- 尺寸：石墨舟的尺寸根據(jù)具體應用場景和需求而定，常見的長度在幾十厘米到數(shù)米不等，寬度和高度一般也在幾厘米到幾十厘米的范圍。例如在光伏行業(yè)中，用于承載硅片的石墨舟會根據(jù)硅片的尺寸和生產(chǎn)設備的要求進行設計，可能長度在 1 米左右，寬度和高度在 20 - 30 厘米左右。
- 密度：一般在 1.6 - 2.2 克/立方厘米左右，密度的大小會影響石墨舟的重量和強度等性能。
- 電阻率：通常較低，這使得石墨舟具有良好的導電性能，一般在 (8 - 13)×10?? Ω•m 之間，能夠滿足在一些需要導電的工藝中的使用要求。
- 熱膨脹系數(shù)：相對較小，與硅片的熱膨脹系數(shù)相近，這一點對于在高溫環(huán)境下使用非常重要，可以避免因熱膨脹差異導致的結(jié)構(gòu)變形或?qū)λ休d的材料造成損傷。
- 固定碳含量：較高的固定碳含量能保證石墨舟的純度和性能，一般固定碳含量在 99%以上。
- 耐溫性能：具有優(yōu)異的耐高溫性能，最高可在 2000℃以上的高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作，能夠滿足大多數(shù)高溫工藝的需求。

2. 應用場景：
- 半導體行業(yè)：在半導體制造過程中，用于承載晶圓進行各種高溫處理、化學氣相沉積等工藝。例如在芯片制造的外延生長、刻蝕等環(huán)節(jié)，石墨舟可以作為晶圓的載體，確保工藝的順利進行。
- 太陽能光伏行業(yè)：是光伏電池生產(chǎn)中的關鍵設備之一，用于承載硅片進行等離子增強化學氣相沉積（PECVD）等鍍膜工藝，在硅片表面沉積氮化硅等薄膜，提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
- 化工行業(yè)：可用于一些化學反應裝置中，作為催化劑或反應物的載體，由于其化學穩(wěn)定性好、耐高溫，能夠在復雜的化學環(huán)境下保持穩(wěn)定。
- 鋰電池行業(yè)：用于制造電極材料等，在鋰電池的生產(chǎn)過程中，石墨舟可以作為電極材料的承載工具，參與到電極材料的制備過程中。

3. 優(yōu)勢：
- 良好的導電性：電阻率低，能夠在高溫環(huán)境下穩(wěn)定地傳導電流，確保在一些需要通電或產(chǎn)生等離子體的工藝中正常工作，有利于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
- 耐高溫性能優(yōu)異：能夠在高溫環(huán)境下長時間使用而不發(fā)生變形或損壞，可適應各種高溫工藝的要求，減少了因高溫導致的設備故障和更換頻率。
- 化學穩(wěn)定性高：不易與大多數(shù)化學物質(zhì)發(fā)生反應，在各種化學環(huán)境下都能保持穩(wěn)定的性能，避免了對所承載的材料或參與的化學反應產(chǎn)生干擾。
- 熱膨脹系數(shù)小：與所承載的材料（如硅片等）的熱膨脹系數(shù)相近，在加熱和冷卻過程中，能夠減少因熱膨脹差異導致的應力和變形，保證了工藝的精度和產(chǎn)品的質(zhì)量。
- 結(jié)構(gòu)強度高：具有較高的結(jié)構(gòu)強度，不易變形或損壞，能夠保證在長期使用過程中對所承載的材料提供穩(wěn)定的支撐。

4. 使用方法：
- 使用前檢查：
- 外觀檢查，查看石墨舟是否有裂紋、破損、變形等問題，如有可能會影響其使用性能和壽命，應及時更換。
- 清潔檢查，確保石墨舟表面干凈，沒有灰塵、油污、雜質(zhì)等，這些物質(zhì)可能會在高溫下對石墨舟或所承載的材料產(chǎn)生不良影響。
- 安裝與固定：
- 根據(jù)生產(chǎn)設備的要求，將石墨舟正確地安裝到相應的位置，并確保安裝牢固。例如在光伏電池生產(chǎn)設備中，要將石墨舟準確地安裝到 PECVD 設備的反應腔室內(nèi)。
- 對于一些需要與其他部件配合使用的石墨舟，要保證連接部位的緊密性和準確性，避免出現(xiàn)漏氣、漏電等問題。
- 使用過程中的注意事項：
- 溫度控制，根據(jù)工藝要求，合理控制石墨舟所處環(huán)境的溫度和升溫、降溫速度。避免溫度過高或過快的溫度變化對石墨舟和所承載的材料造成損傷。
- 氣氛控制，在一些需要特定氣氛環(huán)境的工藝中（如氮氣保護等），要確保氣氛的純度和流量符合要求，以保證工藝的順利進行和產(chǎn)品的質(zhì)量。
- 操作規(guī)范，嚴格按照生產(chǎn)設備的操作規(guī)程進行操作，避免因操作不當導致石墨舟的損壞或生產(chǎn)事故的發(fā)生。
- 使用后的維護與保養(yǎng)：
- 清潔處理，使用后及時對石墨舟進行清潔，去除表面的污垢和殘留物質(zhì)?？梢允褂眠m當?shù)那逑磩┖凸ぞ哌M行清洗，但要注意避免對石墨舟造成損傷。
- 儲存保管，將清潔后的石墨舟存放在干燥、通風、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免受潮、受腐蝕。同時，要避免石墨舟受到擠壓、碰撞等外力損傷。