• 石墨舟
      石墨舟
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      石墨舟

      1. 參數(shù): - 尺寸:石墨舟的尺寸根據(jù)具體應用場景和需求而定,常見的長度在幾十厘米到數(shù)米不等,寬度和高度一般也在幾厘米到幾十厘米的范圍。例如在光伏行業(yè)中,用于承載硅片的石墨舟會根據(jù)硅片的尺寸和生產(chǎn)設備的要求進行設計,可能長度在 1 米左右,寬度和高度在 20 - 30 厘米左右。 - 密度:一般在 1.6 - 2.2 克/立方厘米左右,密度的大小會影響石墨舟的重量和強度等性能。 - 電阻率:通常較低,這使得石墨舟具有良好的導電性能,一般在 (8 - 13)×10?? Ω?m 之間,能夠滿足在一些需要導電的工藝中的使用要求。 - 熱膨脹系數(shù):相對較小,與硅片的熱膨脹系數(shù)相近,這一點對于在高溫環(huán)境下使用非常重要,可以避免因熱膨脹差異導致的結(jié)構(gòu)變形或?qū)λ休d的材料造成損傷。 - 固定碳含量:較高的固定碳含量能保證石墨舟的純度和性能,一般固定碳含量在 99%以上。 - 耐溫性能:具有優(yōu)異的耐高溫性能,最高可在 2000℃以上的高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作,能夠滿足大多數(shù)高溫工藝的需求。

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      詳細介紹

      1. 參數(shù):
      - 尺寸:石墨舟的尺寸根據(jù)具體應用場景和需求而定,常見的長度在幾十厘米到數(shù)米不等,寬度和高度一般也在幾厘米到幾十厘米的范圍。例如在光伏行業(yè)中,用于承載硅片的石墨舟會根據(jù)硅片的尺寸和生產(chǎn)設備的要求進行設計,可能長度在 1 米左右,寬度和高度在 20 - 30 厘米左右。
      - 密度:一般在 1.6 - 2.2 克/立方厘米左右,密度的大小會影響石墨舟的重量和強度等性能。
      - 電阻率:通常較低,這使得石墨舟具有良好的導電性能,一般在 (8 - 13)×10?? Ω•m 之間,能夠滿足在一些需要導電的工藝中的使用要求。
      - 熱膨脹系數(shù):相對較小,與硅片的熱膨脹系數(shù)相近,這一點對于在高溫環(huán)境下使用非常重要,可以避免因熱膨脹差異導致的結(jié)構(gòu)變形或?qū)λ休d的材料造成損傷。
      - 固定碳含量:較高的固定碳含量能保證石墨舟的純度和性能,一般固定碳含量在 99%以上。
      - 耐溫性能:具有優(yōu)異的耐高溫性能,最高可在 2000℃以上的高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作,能夠滿足大多數(shù)高溫工藝的需求。
        
      2. 應用場景:
      - 半導體行業(yè):在半導體制造過程中,用于承載晶圓進行各種高溫處理、化學氣相沉積等工藝。例如在芯片制造的外延生長、刻蝕等環(huán)節(jié),石墨舟可以作為晶圓的載體,確保工藝的順利進行。
      - 太陽能光伏行業(yè):是光伏電池生產(chǎn)中的關鍵設備之一,用于承載硅片進行等離子增強化學氣相沉積(PECVD)等鍍膜工藝,在硅片表面沉積氮化硅等薄膜,提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
      - 化工行業(yè):可用于一些化學反應裝置中,作為催化劑或反應物的載體,由于其化學穩(wěn)定性好、耐高溫,能夠在復雜的化學環(huán)境下保持穩(wěn)定。
      - 鋰電池行業(yè):用于制造電極材料等,在鋰電池的生產(chǎn)過程中,石墨舟可以作為電極材料的承載工具,參與到電極材料的制備過程中。
        
      3. 優(yōu)勢:
      - 良好的導電性:電阻率低,能夠在高溫環(huán)境下穩(wěn)定地傳導電流,確保在一些需要通電或產(chǎn)生等離子體的工藝中正常工作,有利于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
      - 耐高溫性能優(yōu)異:能夠在高溫環(huán)境下長時間使用而不發(fā)生變形或損壞,可適應各種高溫工藝的要求,減少了因高溫導致的設備故障和更換頻率。
      - 化學穩(wěn)定性高:不易與大多數(shù)化學物質(zhì)發(fā)生反應,在各種化學環(huán)境下都能保持穩(wěn)定的性能,避免了對所承載的材料或參與的化學反應產(chǎn)生干擾。
      - 熱膨脹系數(shù)小:與所承載的材料(如硅片等)的熱膨脹系數(shù)相近,在加熱和冷卻過程中,能夠減少因熱膨脹差異導致的應力和變形,保證了工藝的精度和產(chǎn)品的質(zhì)量。
      - 結(jié)構(gòu)強度高:具有較高的結(jié)構(gòu)強度,不易變形或損壞,能夠保證在長期使用過程中對所承載的材料提供穩(wěn)定的支撐。
        
      4. 使用方法:
      - 使用前檢查:
      - 外觀檢查,查看石墨舟是否有裂紋、破損、變形等問題,如有可能會影響其使用性能和壽命,應及時更換。
      - 清潔檢查,確保石墨舟表面干凈,沒有灰塵、油污、雜質(zhì)等,這些物質(zhì)可能會在高溫下對石墨舟或所承載的材料產(chǎn)生不良影響。
      - 安裝與固定:
      - 根據(jù)生產(chǎn)設備的要求,將石墨舟正確地安裝到相應的位置,并確保安裝牢固。例如在光伏電池生產(chǎn)設備中,要將石墨舟準確地安裝到 PECVD 設備的反應腔室內(nèi)。
      - 對于一些需要與其他部件配合使用的石墨舟,要保證連接部位的緊密性和準確性,避免出現(xiàn)漏氣、漏電等問題。
      - 使用過程中的注意事項:
      - 溫度控制,根據(jù)工藝要求,合理控制石墨舟所處環(huán)境的溫度和升溫、降溫速度。避免溫度過高或過快的溫度變化對石墨舟和所承載的材料造成損傷。
      - 氣氛控制,在一些需要特定氣氛環(huán)境的工藝中(如氮氣保護等),要確保氣氛的純度和流量符合要求,以保證工藝的順利進行和產(chǎn)品的質(zhì)量。
      - 操作規(guī)范,嚴格按照生產(chǎn)設備的操作規(guī)程進行操作,避免因操作不當導致石墨舟的損壞或生產(chǎn)事故的發(fā)生。
      - 使用后的維護與保養(yǎng):
      - 清潔處理,使用后及時對石墨舟進行清潔,去除表面的污垢和殘留物質(zhì)??梢允褂眠m當?shù)那逑磩┖凸ぞ哌M行清洗,但要注意避免對石墨舟造成損傷。
      - 儲存保管,將清潔后的石墨舟存放在干燥、通風、無腐蝕性氣體的環(huán)境中,避免受潮、受腐蝕。同時,要避免石墨舟受到擠壓、碰撞等外力損傷。
       

       

       

       

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